ノリタケは一段高、水だけで研磨可能なガラス基板用研磨パッドを開発

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材料 

　ノリタケ<5331.T>が後場一段高となっている。同社はきょう、研磨剤として使用されるレアアース酸化物である酸化セリウムの使用量を大幅に低減できるガラス基板用研磨パッド「ＡＱＵＣＥＲＩＡ」を開発したと発表。これが材料視されているようだ。

　この製品は、酸化セリウムをパッドに内包する構造としたことで、研磨剤スラリーを使用せず、水のみでの研磨が可能。先端半導体パッケージ向けガラス基板の研磨に加え、イメージセンサー、ハードディスク向けガラス基板、光学ガラスの研磨など幅広い用途への適用が可能だとしている。

出所：MINKABU PRESS

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