巴川コーポが続伸、ニコンの半導体露光装置に「ｉＣａｓ　ＭＣＴ」が採用◇

　巴川コーポレーション<3878.T>が続伸している。午後３時ごろに、自社開発した通気性ヒーター部品「ｉＣａｓ　ＭＣＴ」が、ニコン<7731.T>の半導体露光装置に採用されたと発表しており、好材料視されている。

　「ｉＣａｓ　ＭＣＴ」は、ステンレス繊維で構成された紙状・多孔質の「ステンレス繊維シート」を発熱体として用いたヒーター部品。ヒーター部品自体に通気性を持たせることが可能となるので、加熱面に対して垂直方向に空気を通過させながら効果的に加熱。これにより、ヒーター部品の熱容量を抑えつつ、高い温度応答性及び昇温性能を実現したほか、部品の小型化・軽量化にも寄与し、半導体露光装置の高性能化に貢献する。なお、「ｉＣａｓ　ＭＣＴ」が半導体露光装置に採用されるのは、今回が初めてとしている。

（注）タイトル末尾の「◇」は本文中に複数の銘柄を含む記事を表しています。

出所：MINKABU PRESS