レーザーテクが反発、マスクブランクス欠陥検査／レビュー装置の新製品を発表

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　レーザーテック<6920.T>が反発している。８日の米株式市場で主要な関連銘柄で構成されるフィラデルフィア半導体株指数（ＳＯＸ）が約１カ月ぶりに最高値を更新したことに加えて、８日の取引終了後に次世代に向けた最先端半導体用マスクブランクス（パターニングされる前のフォトマスク製造用基板）欠陥検査装置／レビュー装置の新製品を発表したことが好感されている。

　新製品の「ＭＡＧＩＣＳシリーズＭ９７５０／Ｍ９７５１」は、ＥＵＶ用マスクブランクスと、マスクブランクスを作る前のガラス基板であるサブストレートの欠陥検査に対して高い検出感度を実現したのが特徴。同社によると、既に多くの引き合いを受けており、複数台の納入が決定しているとしている。

出所：MINKABU PRESS

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