リンテックは一段高、ＥＵＶ露光機用ペリクルの量産体制確立に向けた取り組みを強化

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　リンテック<7966.T>が後場一段高となっている。同社はきょう午前１０時３０分ごろ、先端半導体の微細回路形成に欠かせないＥＵＶ（極端紫外線）露光機用ペリクル（防塵材料）の量産体制確立に向けた取り組みを強化すると発表。これが材料視されているようだ。

　同社は２３年１０月から産業技術総合研究所の先端半導体研究センターと共同研究を推進しており、今年７月には同社グループが独自開発したＣＮＴ（カーボンナノチューブ：筒状炭素分子）製ペリクルの量産機の立ち上げに成功。これらの研究成果をもとに量産化の見通しが立ったとしており、２５年度内の量産体制の確立及び早期の社会実装につなげるとしている。

出所：MINKABU PRESS

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